请问晶圆级的测试,能测试哪些光电学指标?

2022-05-20 10:13发布

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1条回答
会议专家答疑
1楼 · 2022-05-20 11:06.采纳回答

根据晶圆器件不同,可以测试波长相关参数、频域参数、时域参数、相干格式参数等类型,通常能测量光电器件的插损,光栅消光比,插损测试,调制器带宽,调制效率,消光比,半波电压,终端电阻,探测器带宽,IV特性,光电流&响应度,暗电流,光谱响应,MUX 插损,半波电压等参数,需要根据具体指标类型 需求来选择测试仪表。